北方华创自主研发外延设备获市场认可

近日，北京电控所属北方华创集团自主研发的两款MOCVD（金属有机物化学气相沉积）外延设备（型号：Satur N800/Satur V700）顺利通过客户验收，并获得批量重复订单。

据介绍，MOCVD设备是一种利用金属有机化合物进行金属输送的气相外延生长设备，需要在原子尺度上实现复杂材料的纳米精度控制、量子级界面控制，并需具备高真空环境和高精度温控系统，以确保材料的纯度和生长的稳定性。凭借在硅外延设备领域的深厚积累，北方华创积极拓展化合物半导体外延设备研发，形成了GaN（氮化镓）、GaAs（砷化镓）、SiC（碳化硅）等化合物半导体材料外延设备的系列化产品。

其中，GaN MOCVD外延设备——Satur N800具备大面积均匀温度场、大范围稳定可调气流场，以及多片式（Batch）大产能和自动化配置，能够满足化合物半导体先进器件对外延层组分、厚度和掺杂均匀性的高要求；GaAs MOCVD外延设备——Satur V700成功突破了气流场、温度场、副产物控制等关键技术，具备高均匀性、大产能、低成本等优势；SiC外延设备——MARS iCE115/120S，工艺调试简单，维护操作便捷，上市后获得市场广泛认可。

近年来，经过持续的技术沉淀与创新突破，北方华创实现了硅薄膜外延设备领域4英寸到12英寸全覆盖，产品包括8英寸及以下的单片及多片大产能硅外延设备、12英寸硅外延设备，取得了多项技术创新和产业化成果，累计销售突破千腔，并先后荣获“北京市科学技术进步一等奖”等重量级荣誉。下一步，面向化合物半导体向高集成度、高效能和低能耗发展的趋势，北方华创将以前瞻技术与创新服务为核心，提供全面外延解决方案，助力用户实现技术突破与成本优化，携手产业链伙伴共创产业发展新未来